是一种透明、无色、不导电、不可燃、无残留、具有热稳定性和化学稳定性的全氟化液体。
非常适用于各种电子单相和双相传热应用,包括半导体市场的蚀刻机、离子植入机、测试机、CVD和TFT制造等。其他用途还包括数据中心的热传输、高性能计算、电力电子和航空电子等。
典型性能
性能
SM-40数值
外观
透明无色液体
沸点 (1个大气压)
165 (℃)
倾点
-57 (℃)
液体密度
1855 (kg/m 3 )
动粘度
2.2 (cSt)
介电强度
>40kV
全球暖化潜势(GWP)
~6000