嵩陆氟化液可以实现分子级的清洗清洁,精准的温控管理,消除多孔低k介质(porous low-k)中的结构塌陷,支撑先进制程向2nm及以下节点演进。
嵩陆氟表面活性剂可以降低rinse的表面张力,同时在resist表面形成一层低表面能的保护膜,防止pattern的塌陷现象。可以获得更高的图形高宽比(aspect ratio),改善图形的侧墙边缘粗糙度(line edge roughness)。
随着生成式AI、大模型等技术的飞速发展,数据中心对于算力的需求越来越高。在如此高算力的需求下,数据中心的整机密度也在不断提高,传统风冷技术的局限性愈发明显。嵩陆氟化液能够高效地传导和散发热量,显著提升数据中心的能效和稳定性。液冷技术的散热介质比热容更大,制冷量大,制冷效率高,更适用于大规模、高密度、高功耗的数据中心。满足《新型数据中心发展行动计划》要求的数据中心PUE值低于1.3,而液冷技术可将PUE进一步降至1.2以下。
嵩陆氟化液提供雷达和导弹的高效冷却,满足军工装备长时间高机动条件下的温度控制要求。