SM-40/7100氟化液在浸没式液冷的应用
2025-06-18独特的性能优势 (SM40/SM7100):氟化液体是一种不导电、热和化学稳定的流体，是传热流体应用的理想选择。其宽广的液体范围（-57至165摄氏度）和兼容性使其适用于单相和两相传热应用。
SM-4205 在半导体光刻工艺中的应用
2025-06-181)通过在rinse中加入表面活性剂降低rinse的表面张力,同时在resist表面形成一层低表面能的保护膜,防止pattern的塌陷现象2)适用于45nm至22nm工艺3) 可以获得更高的图形高宽比(aspect ratio)4) 改善图形的侧墙边缘粗糙度(line edge roughness)